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1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位较小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。

　　2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，三丰三坐标，包括导轨、进给机构及轴承等，**精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，三丰三坐标销售，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，三丰三坐标零售，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能**过0.1μm。

金属硬度测量较早由雷奥姆尔提出硬度定义：表示材料抵抗硬物体压入其表面的能力。它是金属材料的重要性能指标之一。一般硬度越高，耐磨性越好。

硬度试验是机械性能试验中较简单易行的一种试验方法。为了能用硬度试验代替某些机械性能试验，生产上需要一个比较准确的硬度和强度的换算关系。